- 关机（SEM）
1.选择主界面上的Maintenance-GUN/VAC，出现对话框，确认GUN/VAC，Condition和VAC Diagram中的各方框均为绿色，没有黄色方框后，点击下方Shutdown按钮，点击OK一两秒后Gun Chamber开始变蓝闪烁，系统开始自动降电流电压。
2.待蓝色闪烁显示“Ready”之后，将Maintenance界面关闭，选择File-Exit，关闭操作软件。软件退出后，将计算机也关机。
3.电脑关机后，将SEM前下方操作面板上的OPERATION SWITCH的1按钮按下（需拨开灯盖）,此时桌面上SEM控制台的灯关闭，然后放下灯盖。
4.随后将左方的盖板打开（有些费劲，请用力），
打开盖板之后，将右上方VAC按钮按一下，按灭，此时能听到真空泵停止工作的声音。然后盖上灯盖，盖上盖板。
5.从此处顺时针绕到机器的背面，关闭循环水：
随后回到机器旁边，俯下身可以看见机器内侧有两个金属的拨片开关：
将两个开关中的下面那个显示MAIN_OFF_SW的拨片拽出，并向下拨动，此时能够听到机器发出“咔哒“一声，整个SEM系统的电源被切断。
向下拨
以上，完成整个SEM的关机。
- 开机（SEM）
- 开机步骤与关机步骤相反。首先需要接通系统的总电源。将MAIN_ON_SW开关拽出来，向上拨动：
向上拨
如果没有听到“咔哒“的启动声，可以重复上述操作一次。
- 打开循环水：
如果循环水不工作，可以在操作面板上按下Run和Set Clear。
- 回到机身正前方，打开盖板，将熄灭的VAC按钮按下，此时按钮亮起，并且应能听到真空泵开始工作。
4.将OPERATION SWITCH的1按钮按亮
- 打开计算机电源，输入开机密码：SEMUser（区分大小写）进入操作系统。然后双击电脑桌面上的PC-SEM图标，选择“mintova”登陆账户，登陆密码同账户名。进入操作界面后将弹出Initialize对话框，选择Execution后仪器开始自检。此过程大概需要三到五分钟。自检完成后，Close按钮将亮起，点击退出Initialize界面。
- 然后选择Maintenance-GUN/VAC，检查各参数均为绿色，没有黄色选项后，点击Start Up。此时系统开始自动升电压电流。此过程大约需要20分钟。电流电压启动完毕后，Gun Chamber选项应显示绿色的ON状态，此时关闭Maintenance对话框，即完成SEM开机步骤。入学测样，最好等待2小时，带等死状态稳定后方可测样。
