SEM开关机步骤

仪器使用2年前 (2022)更新 大飞鸽
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  1. 关机(SEM)

1.选择主界面上的Maintenance-GUN/VAC,出现对话框,确认GUN/VAC,Condition和VAC Diagram中的各方框均为绿色,没有黄色方框后,点击下方Shutdown按钮,点击OK一两秒后Gun Chamber开始变蓝闪烁,系统开始自动降电流电压。

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2.待蓝色闪烁显示“Ready”之后,将Maintenance界面关闭,选择File-Exit,关闭操作软件。软件退出后,将计算机也关机。

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3.电脑关机后,将SEM前下方操作面板上的OPERATION SWITCH的1按钮按下(需拨开灯盖),此时桌面上SEM控制台的灯关闭,然后放下灯盖。

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4.随后将左方的盖板打开(有些费劲,请用力),

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打开盖板之后,将右上方VAC按钮按一下,按灭,此时能听到真空泵停止工作的声音。然后盖上灯盖,盖上盖板。

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5.从此处顺时针绕到机器的背面,关闭循环水:

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随后回到机器旁边,俯下身可以看见机器内侧有两个金属的拨片开关:

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将两个开关中的下面那个显示MAIN_OFF_SW的拨片拽出,并向下拨动,此时能够听到机器发出“咔哒“一声,整个SEM系统的电源被切断。

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向下拨

以上,完成整个SEM的关机。

  1. 开机(SEM)
  2. 开机步骤与关机步骤相反。首先需要接通系统的总电源。将MAIN_ON_SW开关拽出来,向上拨动:
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向上拨

如果没有听到“咔哒“的启动声,可以重复上述操作一次。

  1. 打开循环水:
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如果循环水不工作,可以在操作面板上按下Run和Set Clear。

  1. 回到机身正前方,打开盖板,将熄灭的VAC按钮按下,此时按钮亮起,并且应能听到真空泵开始工作。
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4.将OPERATION SWITCH的1按钮按亮

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  1. 打开计算机电源,输入开机密码:SEMUser(区分大小写)进入操作系统。然后双击电脑桌面上的PC-SEM图标,选择“mintova”登陆账户,登陆密码同账户名。进入操作界面后将弹出Initialize对话框,选择Execution后仪器开始自检。此过程大概需要三到五分钟。自检完成后,Close按钮将亮起,点击退出Initialize界面。
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  1. 然后选择Maintenance-GUN/VAC,检查各参数均为绿色,没有黄色选项后,点击Start Up。此时系统开始自动升电压电流。此过程大约需要20分钟。电流电压启动完毕后,Gun Chamber选项应显示绿色的ON状态,此时关闭Maintenance对话框,即完成SEM开机步骤。入学测样,最好等待2小时,带等死状态稳定后方可测样。
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